O projeto Chip MBE concluído nos últimos anos

Tecnologia

A epitaxia por feixe molecular, ou MBE, é uma nova técnica para o cultivo de filmes finos de cristais de alta qualidade em substratos de cristal.Em condições de ultra-alto vácuo, o fogão de aquecimento é equipado com todos os tipos de componentes necessários e gera vapor, através de orifícios formados após a colimação do feixe atômico ou molecular, injeção direta à temperatura adequada do substrato de cristal único, controlando o feixe molecular para a varredura do substrato ao mesmo tempo, pode fazer com que as moléculas ou átomos em camadas de alinhamento de cristal formem uma película fina em um "crescimento" do substrato.

Para a operação normal do equipamento MBE, é necessário que nitrogênio líquido de alta pureza, baixa pressão e ultralimpo seja transportado de forma contínua e estável para a câmara de resfriamento do equipamento.Em geral, um tanque que fornece nitrogênio líquido tem uma pressão de saída entre 0,3 MPa e 0,8 MPa. O nitrogênio líquido a -196 ℃ é facilmente vaporizado em nitrogênio durante o transporte pelo duto.Uma vez que o nitrogênio líquido com uma proporção gás-líquido de cerca de 1:700 seja gaseificado na tubulação, ele ocupará uma grande quantidade de espaço de fluxo de nitrogênio líquido e reduzirá o fluxo normal no final da tubulação de nitrogênio líquido.Além disso, no tanque de armazenamento de nitrogênio líquido, é provável que haja detritos que não foram limpos.Na tubulação de nitrogênio líquido, a existência de ar úmido também levará à geração de escória de gelo.Se essas impurezas forem descarregadas no equipamento, causarão danos imprevisíveis ao equipamento.

Portanto, o nitrogênio líquido no tanque de armazenamento externo é transportado para o equipamento MBE na oficina livre de poeira com alta eficiência, estabilidade e limpeza, e a baixa pressão, sem nitrogênio, sem impurezas, 24 horas ininterruptas, tal sistema de controle de transporte é um produto qualificado.

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Equipamento MBE correspondente

Desde 2005, a HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) vem otimizando e melhorando este sistema e cooperando com fabricantes internacionais de equipamentos MBE.Os fabricantes de equipamentos MBE, incluindo DCA, REBER, têm relações de cooperação com nossa empresa.Os fabricantes de equipamentos MBE, incluindo DCA e REBER, cooperaram em um grande número de projetos.

Riber SA é fornecedora líder global de produtos de epitaxia de feixe molecular (MBE) e serviços relacionados para pesquisa de semicondutores compostos e aplicações industriais.O dispositivo Riber MBE pode depositar camadas muito finas de material no substrato, com controles muito elevados.O equipamento de vácuo da HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) é equipado com Riber SA O equipamento maior é o Riber 6000 e o menor é o Compact 21. Está em bom estado e foi reconhecido pelos clientes.

DCA é o óxido MBE líder mundial.Desde 1993, tem sido realizado o desenvolvimento sistemático de técnicas de oxidação, aquecimento de substratos antioxidantes e fontes antioxidantes.Por esta razão, muitos laboratórios líderes escolheram a tecnologia de óxido DCA.Os sistemas MBE de semicondutores compostos são usados ​​em todo o mundo.O sistema de circulação de nitrogênio líquido VJ do equipamento criogênico HL (HL CRYO) e o equipamento MBE de vários modelos de DCA têm experiência correspondente em muitos projetos, como o modelo P600, R450, SGC800 etc.

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Tabela de desempenho

Instituto de Física Técnica de Xangai, Academia Chinesa de Ciências
O 11º Instituto da China Electronics Technology Corporation
Instituto de Semicondutores, Academia Chinesa de Ciências
Huawei
Academia Alibaba DAMO
Powertech Tecnologia Inc.
Delta Eletrônica Inc.
Fotônica Everbright de Suzhou

Horário da postagem: 26 de maio de 2021