Casos e soluções de semicondutores e chips

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Os sistemas de resfriamento de nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,

  • A tecnologia de Epitaxia de Feixe Molecular (MBE)
  • O teste do chip após o pacote COB

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EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR

A tecnologia de Molecular Beam Epitaxy (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de filmes finos semicondutores usando tecnologia de evaporação a vácuo.Com o desenvolvimento da tecnologia de ultra-alto vácuo, a aplicação da tecnologia foi estendida ao campo da ciência de semicondutores.

A HL notou a demanda do sistema de resfriamento de nitrogênio líquido MBE, estrutura técnica organizada para desenvolver com sucesso um sistema especial de resfriamento de nitrogênio líquido MBE para tecnologia MBE e um conjunto completo de sistema de tubulação isolado a vácuo, que tem sido usado em muitas empresas, universidades e institutos de pesquisa .

Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem,

  • A Pressão do Nitrogênio Líquido no Equipamento Terminal (MBE).Evite a sobrecarga de pressão do equipamento terminal (MBE) danificado.
  • Controles de entrada e saída de líquidos criogênicos múltiplos
  • A temperatura do nitrogênio líquido no equipamento terminal
  • Uma quantidade razoável de emissões de gás criogênico
  • (Automático) Comutação de Linhas Principais e Filiais
  • Ajuste de Pressão (Redução) e Estabilidade do VIP
  • Limpando as Possíveis Impurezas e Resíduos de Gelo do Tanque
  • Tempo de enchimento do equipamento líquido terminal
  • Pré-resfriamento de tubulação
  • Resistência a líquidos no sistema VIP
  • Controlar a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo do sistema

O tubo isolado a vácuo (VIP) da HL é construído de acordo com o código de tubulação de pressão ASME B31.3 como padrão.Experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade para garantir a eficiência e a relação custo-benefício da planta do cliente.

SOLUÇÕES

A HL Cryogenic Equipment fornece aos clientes o sistema de tubulação isolada a vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:

1.Sistema de Gestão da Qualidade: Código de tubulação de pressão ASME B31.3.

2. Um Separador de Fase Especial com Entrada e Saída de Líquido Criogênico Múltiplo com função de controle automático atende a exigência de emissão de gás, nitrogênio líquido reciclado e temperatura de nitrogênio líquido.

3. O projeto de exaustão adequado e oportuno garante que o equipamento terminal sempre funcione dentro do valor de pressão projetado.

4. A barreira gás-líquido é colocada no tubo VI vertical no final do tubo VI.A barreira gás-líquido usa o princípio de vedação de gás para bloquear o calor do final da tubulação VI para a tubulação VI e reduzir efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo e intermitente do sistema.

5. Tubulação VI Controlada pela Série de Válvulas Isoladas a Vácuo (VIV): Incluindo Válvula de Corte (Pneumática) Isolada a Vácuo, Válvula de Retenção Isolada a Vácuo, Válvula Reguladora Isolada a Vácuo, etc. Vários tipos de VIV podem ser combinados modularmente para controlar o VIP como requerido.VIV é integrado com pré-fabricação VIP no fabricante, sem tratamento isolado no local.A unidade de vedação do VIV pode ser substituída facilmente.(A HL aceita a marca da válvula criogênica designada pelos clientes e, em seguida, fabrica válvulas isoladas a vácuo pela HL. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não ser capazes de ser transformadas em válvulas isoladas a vácuo.)

6.Limpeza, se houver requisitos adicionais para limpeza da superfície do tubo interno.Sugere-se que os clientes escolham tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.

7.Filtro Isolado a Vácuo: Limpe as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.

8. Após alguns dias ou mais de desligamento ou manutenção, é muito necessário pré-resfriar a tubulação VI e o equipamento terminal antes que o líquido criogênico seja inserido, para evitar escória de gelo após o líquido criogênico entrar diretamente na tubulação VI e no equipamento terminal.A função de pré-resfriamento deve ser considerada no projeto.Proporciona melhor proteção para equipamentos terminais e equipamentos de apoio à VI Piping, como válvulas.

9. Adequado para sistema de tubulação com isolamento a vácuo dinâmico e estático (flexível).

10.Sistema de tubulação com isolamento a vácuo dinâmico (flexível): consiste em mangueiras flexíveis VI e/ou tubo VI, mangueiras de jumper, sistema de válvula isolada a vácuo, separadores de fase e sistema de bomba de vácuo dinâmico (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenoides e medidores de vácuo etc. ).O comprimento da mangueira flexível VI simples pode ser personalizado de acordo com os requisitos do usuário.

11.Vários tipos de conexão: Tipo de conexão de baioneta a vácuo (VBC) e conexão soldada podem ser selecionados.O tipo VBC não precisa de tratamento isolado no local.