Os sistemas de resfriamento de nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,
- A tecnologia de epitaxia por feixe molecular (MBE)
- O teste do chip após o pacote COB
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EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR
A tecnologia de Molecular Beam Epitaxy (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais semicondutores de película fina usando a tecnologia de evaporação a vácuo.Com o desenvolvimento da tecnologia de ultra-alto vácuo, a aplicação da tecnologia foi estendida ao campo da ciência de semicondutores.
A HL notou a demanda do sistema de resfriamento de nitrogênio líquido MBE, estrutura técnica organizada para desenvolver com sucesso um sistema especial de resfriamento de nitrogênio líquido MBE para tecnologia MBE e um conjunto completo de sistema de tubulação isolada a vácuo, que tem sido usado em muitas empresas, universidades e institutos de pesquisa .
Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem,
- A pressão do nitrogênio líquido no equipamento terminal (MBE).Previna a sobrecarga de pressão de danificar equipamentos terminais (MBE).
- Múltiplos controles de entrada e saída de líquido criogênico
- A temperatura do nitrogênio líquido no equipamento terminal
- Uma quantidade razoável de emissões de gás criogênico
- Comutação (automática) das linhas principais e ramais
- Ajuste de Pressão (Redução) e Estabilidade do VIP
- Limpando as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque
- Tempo de Enchimento do Equipamento Terminal Líquido
- Pré-resfriamento da tubulação
- Resistência a Líquidos no Sistema VIP
- Perda de controle de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo do sistema
O tubo isolado a vácuo (VIP) da HL é construído de acordo com o código de tubulação de pressão ASME B31.3 como padrão.Experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade para garantir a eficiência e o custo-benefício da planta do cliente.
SOLUÇÕES
A HL Cryogenic Equipment fornece aos clientes o sistema de tubulação isolada a vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:
1.Sistema de Gestão da Qualidade: Código de Tubulação de Pressão ASME B31.3.
2. Um separador de fase especial com múltiplas entradas e saídas de líquido criogênico com função de controle automático atende aos requisitos de emissão de gás, nitrogênio líquido reciclado e temperatura do nitrogênio líquido.
3. O projeto de exaustão adequado e oportuno garante que o equipamento terminal sempre funcione dentro do valor de pressão projetado.
4.A barreira gás-líquido é colocada no tubo vertical VI no final do tubo VI.A barreira gás-líquido usa o princípio de vedação de gás para bloquear o calor do final da tubulação VI para a tubulação VI e reduzir efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo e intermitente do sistema.
5.VI Tubulação controlada pela série de válvulas isoladas a vácuo (VIV): incluindo válvula de fechamento (pneumática) isolada a vácuo, válvula de retenção isolada a vácuo, válvula reguladora isolada a vácuo, etc. Vários tipos de VIV podem ser modulares combinados para controlar o VIP como obrigatório.O VIV é integrado com a pré-fabricação VIP no fabricante, sem tratamento isolado no local.A unidade de vedação do VIV pode ser facilmente substituída.(A HL aceita a marca de válvula criogênica designada pelos clientes e, em seguida, fabrica válvulas isoladas a vácuo pela HL. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não ser capazes de ser transformadas em válvulas isoladas a vácuo.)
6.Limpeza, se houver requisitos adicionais para a limpeza da superfície do tubo interno.Sugere-se que os clientes escolham tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.
7. Filtro isolado a vácuo: Limpe as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.
8. Após alguns dias ou mais de desligamento ou manutenção, é muito necessário pré-resfriar a tubulação VI e o equipamento terminal antes da entrada do líquido criogênico, para evitar escória de gelo após o líquido criogênico entrar diretamente na tubulação VI e no equipamento terminal.A função de pré-resfriamento deve ser considerada no projeto.Ele fornece melhor proteção para equipamentos terminais e equipamentos de suporte VI Piping, como válvulas.
9. Adequado para sistemas de tubulação isolados a vácuo dinâmicos e estáticos (flexíveis).
10.Sistema de tubulação isolada a vácuo dinâmico (flexível): consiste em mangueiras flexíveis VI e/ou tubo VI, mangueiras de jumper, sistema de válvula isolada a vácuo, separadores de fase e sistema de bomba de vácuo dinâmico (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenoides e medidores de vácuo, etc. ).O comprimento da mangueira flexível VI individual pode ser personalizado de acordo com os requisitos do usuário.
11. Vários tipos de conexão: Tipo de conexão de baioneta a vácuo (VBC) e conexão soldada podem ser selecionados.O tipo VBC não precisa de tratamento isolado no local.