Os sistemas de refrigeração com nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,
- A tecnologia de Epitaxia por Feixe Molecular (MBE)
- Teste do chip após a embalagem COB
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EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR
A tecnologia de Epitaxia por Feixe Molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais semicondutores em filmes finos utilizando a tecnologia de evaporação a vácuo. Com o desenvolvimento da tecnologia de ultra-alto vácuo, a aplicação dessa tecnologia foi estendida ao campo da ciência dos semicondutores.
A HL percebeu a demanda por sistemas de resfriamento com nitrogênio líquido para MBE e, por isso, organizou uma estrutura técnica robusta para desenvolver com sucesso um sistema especial de resfriamento com nitrogênio líquido para a tecnologia MBE, além de um conjunto completo de tubulação com isolamento a vácuo, que já vem sendo utilizado em diversas empresas, universidades e institutos de pesquisa.
Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem:
- Pressão do nitrogênio líquido em equipamentos de terminais (MBE). Evite que a sobrecarga de pressão danifique os equipamentos de terminais (MBE).
- Controles múltiplos de entrada e saída de líquido criogênico
- Temperatura do nitrogênio líquido em equipamentos terminais
- Uma quantidade razoável de emissões de gases criogênicos
- Comutação (automática) de linhas principais e ramais
- Ajuste de pressão (redução) e estabilidade do VIP
- Limpeza do tanque para remover possíveis impurezas e resíduos de gelo.
- Tempo de enchimento do equipamento de líquido terminal
- Pré-resfriamento de dutos
- Resistência a líquidos no sistema VIP
- Controle da perda de nitrogênio líquido durante a operação descontínua do sistema
Os tubos com isolamento a vácuo (VIP) da HL são fabricados de acordo com o código ASME B31.3 para tubulações pressurizadas. Nossa experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade garantem a eficiência e a relação custo-benefício das instalações de nossos clientes.
SOLUÇÕES
A HL Cryogenic Equipment fornece aos clientes o Sistema de Tubulação com Isolamento a Vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:
1. Sistema de Gestão da Qualidade: Código ASME B31.3 para Tubulações de Pressão.
2. Um separador de fases especial com múltiplas entradas e saídas de líquido criogênico e função de controle automático atende aos requisitos de emissão de gases, reciclagem de nitrogênio líquido e temperatura do nitrogênio líquido.
3. Um projeto de exaustão adequado e oportuno garante que o equipamento terminal funcione sempre dentro do valor de pressão projetado.
4. A barreira gás-líquido é colocada no tubo de vácuo vertical na extremidade da tubulação de vácuo. A barreira gás-líquido utiliza o princípio de vedação a gás para bloquear o calor proveniente da extremidade da tubulação de vácuo para o interior da tubulação de vácuo, reduzindo efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o funcionamento descontínuo e intermitente do sistema.
5.VI Tubulação controlada pela série de válvulas isoladas a vácuo (VIV): Incluindo válvula de bloqueio (pneumática) isolada a vácuo, válvula de retenção isolada a vácuo, válvula reguladora isolada a vácuo, etc. Vários tipos de VIV podem ser combinados modularmente para controlar o VIP conforme necessário. A VIV é integrada à pré-fabricação do VIP na fábrica, sem necessidade de tratamento de isolamento no local. A unidade de vedação da VIV pode ser substituída facilmente. (A HL aceita a marca de válvula criogênica designada pelo cliente e, em seguida, fabrica as válvulas isoladas a vácuo. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não ser compatíveis com a fabricação de válvulas isoladas a vácuo.)
6. Limpeza: caso existam requisitos adicionais para a limpeza da superfície do tubo interno, sugere-se que os clientes optem por tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.
7. Filtro com isolamento a vácuo: Remove possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.
8. Após alguns dias ou períodos mais longos de inatividade ou manutenção, é imprescindível pré-resfriar a tubulação de vácuo e os equipamentos terminais antes da entrada do líquido criogênico, a fim de evitar a formação de gelo após a entrada direta do líquido criogênico na tubulação de vácuo e nos equipamentos terminais. A função de pré-resfriamento deve ser considerada no projeto. Ela proporciona melhor proteção aos equipamentos terminais e aos equipamentos de suporte da tubulação de vácuo, como válvulas.
9. Adequado para sistemas de tubulação com isolamento a vácuo (flexíveis) dinâmicos e estáticos.
10. Sistema de Tubulação Dinâmica Isolada a Vácuo (Flexível): Consiste em mangueiras flexíveis isoladas a vácuo e/ou tubos isolados a vácuo, mangueiras de ligação, sistema de válvulas isoladas a vácuo, separadores de fase e sistema de bomba de vácuo dinâmica (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenoides e manômetros de vácuo, etc.). O comprimento de cada mangueira flexível isolada a vácuo pode ser personalizado de acordo com as necessidades do usuário.
11. Diversos tipos de conexão: É possível selecionar entre a conexão tipo baioneta a vácuo (VBC) e a conexão soldada. O tipo VBC não necessita de tratamento isolante no local.
