Os sistemas de resfriamento de nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,
- A tecnologia de Epitaxia de Feixe Molecular (MBE)
- O teste do chip após o pacote COB
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EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR
A tecnologia de Epitaxia de Feixe Molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de película fina semicondutores usando tecnologia de evaporação a vácuo. Com o desenvolvimento da tecnologia de ultra-alto vácuo, a aplicação da tecnologia foi estendida ao campo da ciência dos semicondutores.
A HL percebeu a demanda do sistema de resfriamento de nitrogênio líquido MBE, estrutura técnica organizada para desenvolver com sucesso um sistema especial de resfriamento de nitrogênio líquido MBE para a tecnologia MBE e um conjunto completo de sistema de tubulação isolado a vácuo, que tem sido usado em muitas empresas, universidades e institutos de pesquisa .
Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem,
- A pressão do nitrogênio líquido no equipamento terminal (MBE). Evite sobrecarga de pressão causada por danos ao equipamento terminal (MBE).
- Vários controles de entrada e saída de líquidos criogênicos
- A temperatura do nitrogênio líquido em equipamentos terminais
- Uma quantidade razoável de emissões de gases criogênicos
- Comutação (automática) de linhas principais e ramais
- Ajuste de pressão (redução) e estabilidade do VIP
- Limpando as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque
- Tempo de enchimento do equipamento terminal de líquido
- Pré-resfriamento de tubulação
- Resistência a Líquidos no Sistema VIP
- Controle a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo do sistema
O tubo isolado a vácuo (VIP) da HL é construído de acordo com o código de tubulação de pressão ASME B31.3 como padrão. Experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade para garantir a eficiência e a relação custo-benefício da planta do cliente.
SOLUÇÕES
A HL Cryogenic Equipment fornece aos clientes o sistema de tubulação isolada a vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:
1. Sistema de gerenciamento de qualidade: Código de tubulação de pressão ASME B31.3.
2.Um separador de fase especial com múltiplas entradas e saídas de líquido criogênico com função de controle automático atende aos requisitos de emissão de gás, nitrogênio líquido reciclado e temperatura do nitrogênio líquido.
3. O projeto de exaustão adequado e oportuno garante que o equipamento terminal sempre funcione dentro do valor de pressão projetado.
4.A barreira gás-líquido é colocada no tubo VI vertical no final do gasoduto VI. A barreira gás-líquido usa o princípio de vedação de gás para bloquear o calor da extremidade da tubulação VI para a tubulação VI e reduzir efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo e intermitente do sistema.
5.Tubulação VI controlada pela série de válvula isolada a vácuo (VIV): Incluindo válvula de corte isolada a vácuo (pneumática), válvula de retenção isolada a vácuo, válvula reguladora isolada a vácuo, etc. obrigatório. VIV é integrado à pré-fabricação VIP no fabricante, sem tratamento isolado no local. A unidade de vedação do VIV pode ser facilmente substituída. (A HL aceita a marca de válvula criogênica designada pelos clientes e, em seguida, fabrica válvulas isoladas a vácuo pela HL. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não poder ser transformados em válvulas isoladas a vácuo.)
6. Limpeza, se houver requisitos adicionais para limpeza da superfície do tubo interno. Sugere-se que os clientes escolham tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.
7. Filtro isolado a vácuo: Limpe possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.
8. Após alguns dias ou mais de desligamento ou manutenção, é muito necessário pré-resfriar a tubulação VI e o equipamento terminal antes da entrada do líquido criogênico, de modo a evitar escória de gelo após o líquido criogênico entrar diretamente na tubulação VI e no equipamento terminal. A função de pré-resfriamento deve ser considerada no projeto. Ele fornece melhor proteção para equipamentos terminais e equipamentos de suporte de tubulação VI, como válvulas.
9.Terno para sistema de tubulação isolado a vácuo dinâmico e estático (flexível).
10. Sistema de tubulação isolado a vácuo dinâmico (flexível): consiste em mangueiras flexíveis VI e/ou tubo VI, mangueiras de jumper, sistema de válvula isolada a vácuo, separadores de fase e sistema de bomba de vácuo dinâmico (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenóides e medidores de vácuo, etc. ). O comprimento da mangueira flexível VI única pode ser personalizado de acordo com as necessidades do usuário.
11. Vários tipos de conexão: O tipo de conexão de baioneta a vácuo (VBC) e a conexão soldada podem ser selecionados. O tipo VBC não necessita de tratamento isolado no local.
