Os sistemas de resfriamento de nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,
- A tecnologia da epitaxia de feixe molecular (MBE)
- O teste do chip após o pacote de cobra
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Epitaxia de feixe molecular
A tecnologia da epitaxia de feixe molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de filme fino semicondutores usando a tecnologia de evaporação a vácuo. Com o desenvolvimento da tecnologia de vácuo ultra-alta, a aplicação da tecnologia foi estendida ao campo da ciência dos semicondutores.
A HL notou a demanda do sistema de resfriamento de nitrogênio líquido de MBE, organizado backbone técnico para desenvolver com sucesso um sistema especial de picada de nitrogênio líquido MBE para a tecnologia MBE e um conjunto completo de sistema de tubulação isolado a vácuo, que tem sido usado em muitas empresas, universidades e instituições de pesquisa .
Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem,
- A pressão do nitrogênio líquido no equipamento terminal (MBE). Impedir que a sobrecarga de pressão prejudique o equipamento terminal (MBE).
- Controles de entrada e saída de líquidos criogênicos múltiplos
- A temperatura do nitrogênio líquido em equipamentos terminais
- Uma quantidade razoável de emissões de gás criogênicas
- (Automática) Comutação de linhas principais e de ramificação
- Ajuste de pressão (redução) e estabilidade do VIP
- Limpando as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque
- Tempo de preenchimento do equipamento líquido terminal
- Pré -resfriamento do pipeline
- Resistência líquida no sistema VIP
- Controle perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo do sistema
O tubo isolado a vácuo (VIP) da HL é construído para o código de tubulação de pressão ASME B31.3 como padrão. Experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade para garantir a eficiência e a relação custo-benefício da fábrica do cliente.
Soluções
O HL Criogenic Equipment fornece aos clientes o sistema de tubulação isolado a vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:
1. Sistema de gerenciamento de qualidade: Código de tubulação de pressão ASME B31.3.
2. Um separador de fase especial com entrada e saída de líquido criogênico múltiplo com função de controle automático atende à exigência de emissão de gás, nitrogênio líquido reciclado e temperatura do nitrogênio líquido.
3. O design de escape adequado e oportuno garante que o equipamento terminal sempre funcione dentro do valor de pressão projetado.
4.A barreira de gás-líquido é colocada no tubo VI vertical no final do pipeline VI. A barreira de gás-líquido usa o princípio do selo a gás para bloquear o calor desde o final do pipeline VI na tubulação VI e reduzir efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo e intermitente do sistema.
5.VI Tubulações controladas pela válvula de válvula isolada a vácuo (VIV): incluindo válvula de desligamento isolada a vácuo (pneumática), válvula de retenção isolada a vácuo, válvula reguladora isolada a vácuo etc. Vários tipos de Viv podem ser combinados modulares para controlar o VIP como obrigatório. Viv é integrado à pré-fabricação VIV no fabricante, sem tratamento isolado no local. A unidade de vedação do VIV pode ser substituída facilmente. (A HL aceita a marca de válvula criogênica designada pelos clientes e, em seguida, produz válvulas isoladas a vácuo por HL. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não ser capazes de ser transformadas em válvulas isoladas a vácuo.)
6. Clemanidade, se houver requisitos adicionais para a limpeza da superfície do tubo interno. Sugere -se que os clientes escolham tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.
7. Filtro isolado de vacuum: limpe as possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.
8. Depois de alguns dias ou mais desligamento ou manutenção, é muito necessário pré -resfriar a tubulação VI e o equipamento terminal antes que o líquido criogênico seja inserido, de modo a evitar escória de gelo após o líquido criogênico entra diretamente na tubulação VI e no equipamento terminal. A função de pré -resfriamento deve ser considerada no design. Ele fornece melhor proteção para equipamentos de terminal e equipamentos de suporte de tubulação VI, como válvulas.
9.
10. Sistema de tubulação de vácuo (flexível) a vácuo dinâmico: consiste em mangueiras flexíveis de VI e/ou tubo VI, mangueiras de jumper, sistema de válvula isolada a vácuo, separadores de fase e sistema de bomba de vácuo dinâmico (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenóides e medidores de vácuo etc. ). A duração da mangueira flexível única VI pode ser personalizada de acordo com os requisitos do usuário.
11.Vários Tipos de conexão: Tipo de conexão com baioneta a vácuo (VBC) e conexão soldada podem ser selecionados. O tipo VBC não precisa de tratamento isolado no local.
