Os sistemas de resfriamento de nitrogênio líquido são amplamente utilizados na indústria de semicondutores e chips, incluindo o processo de,
- A tecnologia de Epitaxia por Feixe Molecular (MBE)
- Teste do chip após o pacote COB
Produtos relacionados
Série de tubos isolados a vácuo
Série de mangueiras flexíveis isoladas a vácuo
Sistema de bomba de vácuo dinâmica
Série de separadores de fase isolados a vácuo
Série de válvulas isoladas a vácuo
Equipamentos de suporte para sistemas de tubulação
EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR
A tecnologia de Epitaxia por Feixe Molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de filmes finos semicondutores utilizando a tecnologia de evaporação a vácuo. Com o desenvolvimento da tecnologia de ultra-alto vácuo, a aplicação dessa tecnologia foi estendida ao campo da ciência dos semicondutores.
A HL percebeu a demanda do sistema de resfriamento de nitrogênio líquido MBE, organizou uma estrutura técnica para desenvolver com sucesso um sistema especial de resfriamento de nitrogênio líquido MBE para a tecnologia MBE e um conjunto completo de sistema de tubulação com isolamento a vácuo, que tem sido usado em muitas empresas, universidades e institutos de pesquisa.
Os problemas comuns da indústria de semicondutores e chips incluem,
- Pressão de nitrogênio líquido em equipamentos terminais (MBE). Evite que sobrecargas de pressão danifiquem equipamentos terminais (MBE).
- Controles múltiplos de entrada e saída de líquido criogênico
- A temperatura do nitrogênio líquido no equipamento terminal
- Uma quantidade razoável de emissões de gases criogênicos
- Comutação (automática) de linhas principais e secundárias
- Ajuste de pressão (redução) e estabilidade do VIP
- Limpeza de possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque
- Tempo de Enchimento do Equipamento Líquido Terminal
- Pré-resfriamento de dutos
- Resistência a Líquidos no Sistema VIP
- Controle de Perda de Nitrogênio Líquido Durante o Serviço Descontínuo do Sistema
Os tubos isolados a vácuo (VIP) da HL são fabricados de acordo com o código ASME B31.3 Pressure Piping como padrão. Nossa experiência em engenharia e capacidade de controle de qualidade garantem a eficiência e a relação custo-benefício da planta do cliente.
SOLUÇÕES
A HL Cryogenic Equipment fornece aos clientes o Sistema de Tubulação Isolada a Vácuo para atender aos requisitos e condições da indústria de semicondutores e chips:
1. Sistema de Gestão da Qualidade: Código de Tubulação de Pressão ASME B31.3.
2. Um separador de fases especial com múltiplas entradas e saídas de líquido criogênico com função de controle automático atende aos requisitos de emissão de gás, nitrogênio líquido reciclado e temperatura do nitrogênio líquido.
3. O projeto de exaustão adequado e oportuno garante que o equipamento terminal sempre funcione dentro do valor de pressão projetado.
4. A Barreira Gás-Líquido é instalada no tubo de gás-líquido vertical na extremidade da tubulação de gás-líquido. A Barreira Gás-Líquido utiliza o princípio de vedação de gás para bloquear o calor da extremidade da tubulação de gás-líquido para a tubulação de gás-líquido, reduzindo efetivamente a perda de nitrogênio líquido durante o serviço descontínuo e intermitente do sistema.
5. Tubulação VI controlada pela série de válvulas isoladas a vácuo (VIV): incluindo válvula de fechamento (pneumática) isolada a vácuo, válvula de retenção isolada a vácuo, válvula reguladora isolada a vácuo, etc. Vários tipos de VIV podem ser combinados modularmente para controlar a VIP, conforme necessário. A VIV é integrada à pré-fabricação da VIP no fabricante, sem necessidade de tratamento de isolamento no local. A unidade de vedação da VIV pode ser facilmente substituída. (A HL aceita a marca de válvula criogênica indicada pelo cliente e, em seguida, fabrica as válvulas isoladas a vácuo pela HL. Algumas marcas e modelos de válvulas podem não ser compatíveis com a fabricação de válvulas isoladas a vácuo.)
6. Limpeza, caso haja requisitos adicionais para a limpeza da superfície da câmara de ar. Sugere-se que os clientes escolham tubos de aço inoxidável BA ou EP como tubos internos VIP para reduzir ainda mais o derramamento de aço inoxidável.
7. Filtro isolado a vácuo: limpe possíveis impurezas e resíduos de gelo do tanque.
8. Após alguns dias ou mais de parada ou manutenção, é extremamente necessário pré-resfriar a tubulação de ventilação e os equipamentos terminais antes da entrada do líquido criogênico, a fim de evitar a formação de gelo após a entrada direta do líquido criogênico na tubulação de ventilação e nos equipamentos terminais. A função de pré-resfriamento deve ser considerada no projeto. Ela proporciona melhor proteção para os equipamentos terminais e os equipamentos de suporte da tubulação de ventilação, como válvulas.
9. Adequado para sistemas de tubulação isolados a vácuo dinâmicos e estáticos (flexíveis).
10. Sistema de Tubulação Flexível com Isolamento a Vácuo Dinâmico: Consiste em Mangueiras Flexíveis de Vácuo (VI) e/ou Tubo VI, Mangueiras de Ligação, Sistema de Válvulas Isoladas a Vácuo, Separadores de Fase e Sistema de Bomba de Vácuo Dinâmico (incluindo bombas de vácuo, válvulas solenoides, medidores de vácuo, etc.). O comprimento de cada Mangueira Flexível de Vácuo (VI) pode ser personalizado de acordo com as necessidades do usuário.
11. Vários tipos de conexão: conexão tipo baioneta a vácuo (VBC) e conexão soldada podem ser selecionadas. O tipo VBC não requer tratamento de isolamento no local.
