Um breve sistema de tubulação isolado a vácuo na aplicação criogênica da indústria de chips

A fabricação e o design do sistema de tubulação isolado a vácuo para transmissão de nitrogênio líquido é de responsabilidade do fornecedor. Para este projeto, se o fornecedor não tiver as condições para a medição no local, os desenhos de direção do pipeline precisam ser fornecidos pela casa. Em seguida, o fornecedor projetará o sistema de tubulação VI para cenários de nitrogênio líquido.

O fornecedor deve concluir o projeto geral do sistema de pipeline por projetistas experientes de acordo com os desenhos, parâmetros do equipamento, condições do local, características de nitrogênio líquido e outros fatores fornecidos pelo Demander.

O conteúdo do design inclui o tipo de acessórios do sistema, a determinação do material e as especificações dos tubos internos e externos, o design do esquema de isolamento, o esquema de seção pré -fabricada, o formulário de conexão entre as seções do tubo, o suporte interno do tubo , o número e a posição da válvula de vácuo, a eliminação do selo de gás, os requisitos do líquido criogênico do equipamento terminal, etc. Esse esquema deve ser verificado pelo pessoal profissional do Demander antes da fabricação.

O conteúdo do design do sistema de tubulação isolado a vácuo é amplo, aqui para hass aplicativos e equipamentos MBE em alguns problemas comuns, um bate -papo simples.

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VI Tiping

O tanque de armazenamento de nitrogênio líquido geralmente é longo do aplicativo Hass ou do equipamento MBE. Enquanto o tubo isolado a vácuo entra no edifício interno, ele precisa ser razoavelmente evitado de acordo com o layout da sala no edifício e a localização do tubo de campo e do duto de ar. Portanto, transportando nitrogênio líquido para o equipamento, pelo menos centenas de metros de tubo.

Como o próprio nitrogênio líquido comprimido contém uma grande quantidade de gás, juntamente com a distância do transporte, até o tubo adiabático de vácuo produzirá uma grande quantidade de nitrogênio no processo de transporte. Se o nitrogênio não for descarregado ou a emissão for muito baixa para atender aos requisitos, causará resistência ao gás e levará a um fluxo de mau nitrogênio líquido, resultando em uma grande redução na taxa de fluxo.

Se a taxa de fluxo for insuficiente, a temperatura na câmara de nitrogênio líquido do equipamento não poderá ser controlada, o que pode eventualmente levar ao dano do equipamento ou da qualidade do produto.

Portanto, é necessário calcular a quantidade de nitrogênio líquido usado pelo equipamento terminal (aplicação Hass ou equipamento MBE). Ao mesmo tempo, as especificações do pipeline também são determinadas de acordo com o comprimento e a direção do pipeline.

A partir do tanque de armazenamento de nitrogênio líquido, se a tubulação principal do tubo/mangueira isolada a vácuo for DN50 (diâmetro interno φ50 mm), seu tubo/mangueira do ramo VI é DN25 (diâmetro interno φ25 mm) e a mangueira entre o tubo de ramificação e O equipamento terminal é DN15 (diâmetro interno φ15 mm). Outros acessórios para o sistema de tubulação VI, incluindo separador de fases, desgosto, ventilação automática de gás, válvula de desligamento de desligamento VI/criogênica (pneumática), válvula de regulação do fluxo pneumático VI, válvula de retenção VI/criogênica, filtro VI, válvula de relevo, sistema de purga, sistema de purga, e bomba a vácuo etc.

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MBE separador de fase especial

Cada separador de fase de pressão normal especial do MBE tem as seguintes funções:

1. Sensor de nível líquido e sistema automático de controle de nível de líquido, e prontamente exibidos através de uma caixa de controle elétrico.

2 Função de redução de pressão: A entrada líquida do separador está equipada com um sistema auxiliar separador, que garante uma pressão de nitrogênio líquido de 3-4 bar no tubo principal. Ao entrar no separador de fases, reduza constantemente a pressão para ≤ 1bar.

3. Regulação do fluxo de entrada do líquido: Um sistema de controle de flutuabilidade é organizado dentro do separador de fases. Sua função é ajustar automaticamente a quantidade de ingestão de líquido quando o consumo de nitrogênio líquido aumentar ou diminuir. Isso tem a vantagem de reduzir a nítida flutuação da pressão causada pela entrada de uma grande quantidade de nitrogênio líquido quando a válvula pneumática de entrada é aberta e impedindo a sobrepressão.

4. Função de buffer, o volume efetivo dentro do separador garante o fluxo instantâneo máximo do dispositivo.

5. Sistema de purga: fluxo de ar e vapor de água no separador antes da passagem líquida de nitrogênio e descarga de nitrogênio líquido no separador após a passagem de nitrogênio líquido.

6. Função de alívio automático de sobrepressão: o equipamento, ao passar inicialmente pelo nitrogênio líquido ou em circunstâncias especiais, leva a um aumento na gaseificação líquida de nitrogênio, o que leva à sobrepressão instantânea de todo o sistema. Nosso separador de fases está equipado com válvula de alívio de segurança e grupo de válvula de alívio de segurança, que pode garantir com mais eficiência a estabilidade da pressão no separador e impedir que o equipamento MBE seja danificado pela pressão excessiva.

7. Caixa de controle elétrico, exibição em tempo real do nível de líquido e valor da pressão, pode definir o nível de líquido no separador e nitrogênio líquido na quantidade de relação de controle. Ao mesmo tempo. Em emergência, a frenagem manual do separador de líquidos a gás na válvula de controle de líquidos, para o pessoal do local e a segurança do equipamento para fornecer uma garantia.

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Degassor de vários núcleos para aplicações hass

O tanque de armazenamento de nitrogênio líquido externo contém uma grande quantidade de nitrogênio porque é armazenado e transportado sob pressão. Nesse sistema, a distância de transporte de pipeline é maior, há mais cotovelos e maior resistência, o que causará gaseificação parcial do nitrogênio líquido. O tubo isolado a vácuo é a melhor maneira de transportar nitrogênio líquido no momento, mas o vazamento de calor é inevitável, o que também levará à gaseificação parcial do nitrogênio líquido. Em resumo, o nitrogênio líquido contém uma grande quantidade de nitrogênio, o que leva à geração de resistência a gás, resultando no fluxo de nitrogênio líquido não é liso.

Equipamento de escape no tubo isolado a vácuo, se não houver dispositivo de escape ou volume insuficiente de escape, levará à resistência ao gás. Depois que a resistência ao gás for formada, a capacidade de transmissão de nitrogênio líquido será bastante reduzida.

O desgosto multi-núcleo projetado exclusivamente por nossa empresa pode garantir que o nitrogênio seja descarregado do tubo de nitrogênio líquido principal até a extensão máxima e impedir a formação de resistência a gás. E o desgosto de vários núcleos tem volume interno suficiente, pode desempenhar o papel do tanque de armazenamento de buffer, pode atender efetivamente às necessidades do fluxo instantâneo máximo do pipeline da solução.

Estrutura multi-núcleo patenteada exclusiva, capacidade de escape mais eficiente do que nossos outros tipos de separadores.

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Continuando com o artigo anterior, há alguns problemas que precisam ser considerados ao projetar soluções para o sistema de tubulação isolado a vácuo para aplicações criogênicas na indústria de chips.

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Dois tipos de sistema de tubulação isolado a vácuo

Existem dois tipos de sistema de tubulação isolado a vácuo: sistema VI estático e sistema de bombeamento dinâmico de vácuo.

O sistema VI estático significa que, após a fabricação de cada tubo na fábrica, ele é aspirado ao grau de vácuo especificado na unidade de bombeamento e selado. Na instalação do campo e colocado em uso, um certo período de tempo não precisa ser reevacuado no site.

A vantagem do sistema VI estático é de baixos custos de manutenção. Uma vez que o sistema de tubulação está em serviço, a manutenção é necessária vários anos depois. Este sistema de vácuo é adequado para sistemas que não requerem requisitos de alto resfriamento e locais abertos para manutenção no local.

A desvantagem do sistema VI estático é que o vácuo diminui com o tempo. Porque todos os materiais liberam gases traços o tempo todo, que é determinado pelas propriedades físicas do material. O material na jaqueta do tubo VI pode reduzir a quantidade de gás liberado pelo processo, mas não pode ser completamente isolado. Isso levará ao vácuo do ambiente de vácuo selado, será cada vez menor, o tubo de isolamento a vácuo enfraquecerá gradualmente a capacidade de resfriamento.

O sistema dinâmico de bombeamento de vácuo significa que, após a fabricação e formada o tubo, o tubo ainda é evacuado na fábrica de acordo com o processo de detecção de vazamento, mas o vácuo não é selado antes da entrega. Após a conclusão da instalação do campo, os intercaladores de vácuo de todos os tubos devem ser conectados em uma ou mais unidades por mangueiras de aço inoxidável, e uma pequena bomba de vácuo dedicada deve ser usada para aspirar os tubos no campo. A bomba de vácuo especial possui um sistema automático para monitorar o vácuo a qualquer momento e o vácuo, conforme necessário. O sistema funciona 24 horas por dia.

A desvantagem do sistema dinâmico de bombeamento de vácuo é que o vácuo precisa ser mantido pela eletricidade.

A vantagem do sistema dinâmico de bombeamento de vácuo é que o grau de vácuo é muito estável. É usado preferencialmente no ambiente interno e nos requisitos de desempenho a vácuo de projetos muito altos.

Nosso sistema dinâmico de bombeamento de vácuo, toda a bomba de vácuo especial integrada móvel para garantir que o equipamento a aspira, um layout conveniente e razoável para garantir o efeito do vácuo, a qualidade dos acessórios a vácuo para garantir a qualidade do vácuo.

Para o projeto MBE, porque o equipamento está na sala limpa e o equipamento está funcionando por um longo tempo. A maior parte do sistema de tubulação com isolamento a vácuo está no espaço fechado no interclantar da sala limpa. É impossível implementar a manutenção de vácuo do sistema de tubulação no futuro. Isso terá um sério impacto na operação de longo prazo do sistema. Como resultado, o projeto MBE emprega quase todo o sistema dinâmico de bombeamento de vácuo.

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Sistema de alívio de pressão

O sistema de alívio de pressão da linha principal adota o grupo de válvulas de alívio de segurança. O grupo da válvula de alívio de segurança é usado como um sistema de proteção de segurança quando a sobrepressão, a tubulação VI não pode ser ajustada em uso normal

A válvula de alívio de segurança é um componente essencial para garantir que o sistema de pipeline não seja sobrepressão, operação segura, por isso é essencial na operação da tubulação. Mas a válvula de segurança de acordo com o regulamento deve ser enviada para verificar todos os anos. Quando uma válvula de segurança é usada e a outra é preparada, quando uma válvula de segurança é removida, a outra válvula de segurança ainda está no sistema de tubulação para garantir a operação normal da tubulação.

O grupo de válvula de alívio de segurança contém duas válvulas de alívio de segurança DN15, uma para uso e uma para espera. Na operação normal, apenas uma válvula de alívio de segurança está conectada ao sistema de tubulação VI e é executada normalmente. As outras válvulas de alívio de segurança são desconectadas do tubo interno e podem ser substituídas a qualquer momento. As duas válvulas de segurança são conectadas e cortadas através do estado de comutação da válvula lateral.

O grupo da válvula de alívio de segurança está equipado com um manômetro para verificar a pressão do sistema de tubulação a qualquer momento.

O grupo da válvula de alívio de segurança é fornecido com uma válvula de descarga. Pode ser usado para descarregar o ar no tubo ao purgar, e o nitrogênio pode ser descarregado quando o sistema de nitrogênio líquido estiver em execução.

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Equipamento criogênico HL

A HL Criogenic Equipment, fundada em 1992, é uma marca afiliada à Chengdu Holy Criogenic Equipment Company na China. O equipamento criogênico da HL está comprometido com o projeto e a fabricação do sistema de tubulação criogênico isolado de alto vácuo e equipamentos de suporte relacionados.

No mundo em rápida mudança de hoje, fornecer tecnologia avançada e maximizar a economia de custos para os clientes é uma tarefa desafiadora. Por 30 anos, a HL Criogenic Equipment Company em quase todos os equipamentos e indústria criogênica se aprofundam no cenário de aplicação, acumulou uma experiência rica e confiável e explora e se esforça continuamente para acompanhar os últimos desenvolvimentos em todas as esferas da vida, fornecendo aos clientes Soluções novas, práticas e eficientes, tornam nossos clientes mais competitivos no mercado.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

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Tempo de postagem: 25-2021 de agosto

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